氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。
該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學(xué)信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測定，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和定位容器或管道內(nèi)部缺陷的儀器。它通過測量氣體的氦濃度來判斷是否存在缺陷，具有靈敏度高、檢測范圍廣、操作簡單等優(yōu)點(diǎn)。該系統(tǒng)包括氦氣發(fā)生器、質(zhì)譜檢測器、數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)等組成。其工作原理是，通過向容器或管道內(nèi)注入氦氣，然后用質(zhì)譜檢測器測量氦氣的濃度變化，從而發(fā)現(xiàn)缺陷。該系統(tǒng)可用于石油、化工、制藥、食品等行業(yè)，廣泛應(yīng)用于氣體檢測、漏點(diǎn)定位等領(lǐng)域。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測電子產(chǎn)品的密封性能，常用于手機(jī)、筆記本電腦等產(chǎn)品在量產(chǎn)線上的可靠性和一致性測試。該系統(tǒng)的操作原理是：首先將待測電子產(chǎn)品放入真空氣氛室中抽真空并充入高純度惰性氣體——氦氣；然后通過的信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻電脈沖或機(jī)械振動源（聲學(xué)法），均勻地輻射到被測樣品上形成特定的應(yīng)力場；接著利用示蹤粒子“氦”原子無色透明且易與環(huán)境介質(zhì)充分滲透的特點(diǎn)，使氦氣的濃度能夠迅速傳遞到達(dá)泄漏點(diǎn)并在其中彌散和溶解起來；使用靈敏的測量儀器對抽取到的含有微小泄露物的樣本進(jìn)行定量分析以得出樣品的實(shí)際壓力值并與參考標(biāo)準(zhǔn)相比較來判斷是否合格。
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